PHT株式会社

特長・PRポイント

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。

企業概要

代表者

代表取締役 黄 清敏

住所

〒115-0045 東京都北区赤羽1丁目41番12号 サニーヒルズ1F

電話番号

03-6750-5232

ファクス

03-6762-9587

ホームページ

https://pht.co.jp/

資本金

6,500万円

従業員数

182名

主な設備

ウェーハ自動剥離装置、ウェーハ自動洗浄装置、ウェーハ搬送ロボット、ウェーハ搬送装置、EFEM・ソータなど半導体製造関連装置

業務内容

＜半導体搬送システム事業＞

1. 半導体用ウェーハ搬送ロボットシステム、レーザ応用システムなど関連装置の開発設計・製造・販売
2. 液晶用ガラス基板搬送ロボットシステム、レーザ応用システムなど関連装置の開発設計・製造・販売

＜半導体洗浄装置事業＞

1. ウェーハ自動剥離装置
2. ウェーハ自動洗浄装置　ワイヤーソー後洗浄、ラップ後洗浄、アルカリエッチング洗浄、熱処理前洗浄、熱処理後洗浄、研磨後洗浄、FINAL洗浄など関連装置の開発設計・製造・販売

• PHT株式会社ホームページ（外部リンク）

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